Verfahren, Verfahren zur Herstellung eines Duschkopfes für Chemische Dampfabscheidung oder Atomschichtabscheidung unter Verwendung eines Solchen Verfahrens, Nichtflüchtiges, Maschinenlesbares Speichermedium und System

EP4200902 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4200902
Aktenzeichen: EP21862498
Anmeldetag: 23. August 2021
Veröffentlichung: 28. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/52G06N20/00G06F18/24G06N3/084B23K20/00B23K20/02B23K20/227B23K20/233B23K31/00C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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