Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP4202549 Art B1 28. Januar 2026

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4202549
Aktenzeichen: EP20950249
Anmeldetag: 18. August 2020
Veröffentlichung: 28. Januar 2026
Erteilung: 28. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von