Füllen von Kontaktlöchern in Einfach- und Doppel-Damaszener-Strukturen unter Verwendung einer Selbstorganisierten Monoschicht

EP4202990 Art B1 8. Oktober 2025

Anmelder: INTEL Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4202990
Aktenzeichen
EP22207204
Anmeldetag
14. November 2022
Veröffentlichung
8. Oktober 2025
Erteilung
8. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
INTEL Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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