Chemisch Verstärkte Resistzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Resistfilms damit

EP4204901 Art A1 5. Juli 2023

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4204901
Aktenzeichen: EP21769085
Anmeldetag: 23. August 2021
Veröffentlichung: 5. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/038G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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