Akustische Oberflächenwellen-Sensoranordnung auf einem Quarzsubstrat

EP4208715 Art A1 12. Juli 2023

Anmelder: SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4208715
Aktenzeichen
EP21720556
Anmeldetag
3. März 2021
Veröffentlichung
12. Juli 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01N29/02G01N29/22G01N29/24G01K11/26H03H9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOITEC
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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