Rückseitenentwurf für einen Flachen Siliciumcarbidsuszeptor

EP4211715 Art A1 19. Juli 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4211715
Aktenzeichen
EP21867317
Anmeldetag
27. Juli 2021
Veröffentlichung
19. Juli 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/458C23C16/44C23C16/02C23C16/32C30B25/12H01L21/687H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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