Rückseitenentwurf für einen Flachen Siliciumcarbidsuszeptor
EP4211715
Art A1
19. Juli 2023
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4211715
- Aktenzeichen
- EP21867317
- Anmeldetag
- 27. Juli 2021
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/458C23C16/44C23C16/02C23C16/32C30B25/12H01L21/687H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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