Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Optischen Elements in einem Optischen System für die Mikrolithographie
EP4212962
Art B1
28. Februar 2024
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4212962
- Aktenzeichen
- EP23156248
- Anmeldetag
- 16. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 28. Februar 2024
- Erteilung
- 28. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G01J5/00G01J5/04G01J5/07G01J5/0806G01J5/0831G01J5/08G02B7/00G02B7/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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