Steuerungsvorrichtung, Verfahren zur Einstellung der Steuerungsvorrichtung, Lithografievorrichtung und Artikelherstellungsverfahren

EP4212963 Art A1 19. Juli 2023

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4212963
Aktenzeichen: EP21866683
Anmeldetag: 3. September 2021
Veröffentlichung: 19. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G05B13/02G03F9/00H01L21/68G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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