Verdampfungsvorrichtung, Dampfabscheidungsvorrichtung und Verdampfungsverfahren

EP4214350 Art A1 26. Juli 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4214350
Aktenzeichen: EP21869978
Anmeldetag: 1. September 2021
Veröffentlichung: 26. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/22C23C14/56C23C14/14H01M4/04F16K31/00F16K49/00F16K51/02F16K99/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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