Optisches System und Lithographieanlage

EP4214575 Art A1 26. Juli 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4214575
Aktenzeichen: EP21763312
Anmeldetag: 16. August 2021
Veröffentlichung: 26. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/00G01B11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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