Vorrichtung zur Analyse Und/oder Bearbeitung einer Probe mit einem Teilchenstrahl und Verfahren

EP4214734 Art A2 26. Juli 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4214734
Aktenzeichen: EP21777735
Anmeldetag: 15. September 2021
Veröffentlichung: 26. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/02H01J37/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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