In-Situ-Temperaturkartierung für Epikammer

EP4214743 Art A1 26. Juli 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4214743
Aktenzeichen: EP21869956
Anmeldetag: 17. August 2021
Veröffentlichung: 26. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C30B25/10C30B25/16C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von