Ätzmittelzusammensetzungen
EP4217441
Art A1
2. August 2023
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4217441
- Aktenzeichen
- EP21873287
- Anmeldetag
- 21. September 2021
- Veröffentlichung
- 2. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213H01L21/311C11D3/28C11D3/32C11D3/34C11D3/36C11D3/43C11D3/33C11D17/00C09K13/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar