Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Elektrisch Leitenden Beta-GA2O3-Volumeneinkristallen und Elektrisch Leitender Beta-GA2O3-Volumeneinkristall

EP4219803 Art A1 2. August 2023

Anmelder: Siltronic AG, Leibniz-Institut für Kristallzüchtung im Forschungsverbund Berlin e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4219803
Aktenzeichen
EP22154305
Anmeldetag
31. Januar 2022
Veröffentlichung
2. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C30B15/10C30B15/14C30B15/20C30B29/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Siltronic AG
Leibniz-Institut für Kristallzüchtung im Forschungsverbund Berlin e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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