Verfahren zur Herstellung eines Multispektralen Filters für Elektromagnetische Strahlung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4220723

Aktenzeichen

EP23153852

Anmeldetag

30. Januar 2023

Veröffentlichung

21. Februar 2024

Erteilung

21. Februar 2024

Rechtsraum

EP

IPC

H01L27/146

Abstract

L'invention concerne un procédé de fabrication d'un filtre multispectral pour une radiation électromagnétique comportant au moins deux filtres de couleur, chaque filtre comportant une première couche réfléchissante, une deuxième couche réfléchissante, une couche en matériau diélectrique de cavité de Fabry-Pérot, l'épaisseur de la couche diélectrique des deux filtres de couleurs étant différente et chacun des deux filtres étant en regard d'un transducteur photoélectrique. Le procédé comporte les étapes suivantes : - Dépôt sur un substrat, dit substrat poignée, d'une couche de résine ; - Structuration en trois dimensions de la couche de résine par lithographie de sorte à obtenir au moins deux motifs de résines de hauteurs différentes, au moins un des motifs présentant une hauteur maximale de référence ; - Dépôt d'une couche réalisée dans le matériau diélectrique destiné à former les motifs diélectriques des cavités de Fabry-Pérot et planarisation par retrait du matériau diélectrique avec arrêt sélectif au sommet du motif de résine le plus haut ; - Report de la face planarisée du substrat poignée sur la face supérieure d'un substrat porteur ; - Retrait du substrat poignée et de la résine de sorte à libérer en surface au moins deux motifs diélectriques de cavités de Fabry-Pérot d'épaisseur différente et dépôt d'une couche réfléchissante sur les au moins deux motifs diélectriques de cavité de Fabry-Pérot, formant la deuxième couche réfléchissante.

Anmelder

Firmen

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete