Festkörperimpedanzanpassungssysteme mit einem Hybriden Abstimmnetzwerk mit einem Schaltbaren Grobabstimmungsnetzwerk und einem Varaktor-Feinabstimmungsnetzwerk

EP4220957 Art B1 9. Oktober 2024

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4220957
Aktenzeichen
EP23162193
Anmeldetag
21. März 2017
Veröffentlichung
9. Oktober 2024
Erteilung
9. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H03H7/40H03H7/01H05H1/46H03F1/32H03F3/20H01J37/32H03F1/56H03F3/189H03H11/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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