Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements, Optisches Element, Vorrichtung zur Herstellung eines Optischen Elements, Sekundärgas und Projektionsbelichtungsanlage
EP4222539
Art A1
9. August 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4222539
- Aktenzeichen
- EP21782920
- Anmeldetag
- 22. September 2021
- Veröffentlichung
- 9. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/08G03F7/20G21K1/06G02B1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Lorenz & Kollegen
Heidenheim, Deutschland
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.
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