Waferbehälter und Grössenanpassungssystem dafür
EP4222778
Art A1
9. August 2023
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4222778
- Aktenzeichen
- EP21876661
- Anmeldetag
- 4. Oktober 2021
- Veröffentlichung
- 9. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar