Reinigungszusammensetzung für Mikroelektronische Vorrichtung

EP4225881 Art A1 16. August 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4225881
Aktenzeichen
EP21878266
Anmeldetag
1. Oktober 2021
Veröffentlichung
16. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C11D3/30C11D3/32C11D3/28C11D3/33C11D3/48C11D3/43C11D3/36C11D3/20C11D11/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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