Schattenringkit für Plasma-Ätzwafer-Vereinzelungsprozess

EP4226414 Art A1 16. August 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4226414
Aktenzeichen: EP21878205
Anmeldetag: 16. September 2021
Veröffentlichung: 16. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/683H01L21/687H01J37/32H01L21/78B23K26/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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