Kohlenstoffdotierte Metalloxyfluoridschicht als Schutzschicht in Fluorplasmaätzverfahren

EP4229227 Art A1 23. August 2023

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4229227
Aktenzeichen: EP21802206
Anmeldetag: 19. Oktober 2021
Veröffentlichung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/02C23C14/08C23C16/02C23C16/40C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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