Vorrichtung zum Abdichten einer Vakuumkammer, Vakuumbehandlungssystem und Verfahren zur Überwachung einer Ladungsschleusendichtung

EP4229228 Art A1 23. August 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4229228
Aktenzeichen: EP21880760
Anmeldetag: 22. September 2021
Veröffentlichung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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