Inline-Metrologiesysteme, Vorrichtung und Verfahren für Optische Vorrichtungen

EP4229387 Art A1 23. August 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4229387
Aktenzeichen
EP21880788
Anmeldetag
4. Oktober 2021
Veröffentlichung
23. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01M11/02G02B27/01G02F1/13
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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