Abscheidungsverfahren für Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis unter Verwendung eines Inhibitormoleküls

EP4229672 Art A1 23. August 2023

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4229672
Aktenzeichen: EP21880940
Anmeldetag: 13. Oktober 2021
Veröffentlichung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C16/40C23C16/44C23C16/455C23C16/04H01L21/02H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von