Verbundstruktur für Mems-Anwendungen mit einer Verformbaren Schicht und einer Piezoelektrischen Schicht und Zugehöriges Herstellungsverfahren

EP4229686 Art A1 23. August 2023

Anmelder: SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4229686
Aktenzeichen
EP21794604
Anmeldetag
27. September 2021
Veröffentlichung
23. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L41/08H01L41/312H01L41/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOITEC
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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