Verbundstruktur für Mems-Anwendungen mit einer Verformbaren Schicht und einer Piezoelektrischen Schicht und Zugehöriges Herstellungsverfahren
EP4229686
Art A1
23. August 2023
Anmelder: SOITEC 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4229686
- Aktenzeichen
- EP21794604
- Anmeldetag
- 27. September 2021
- Veröffentlichung
- 23. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L41/08H01L41/312H01L41/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SOITEC
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
801 Patente in unserer Datenbank