Rf-Sputtervorrichtung zur Steuerung der Atomschicht einer Dünnschicht

EP4230763 Art A1 23. August 2023

Anmelder: Pusan National University Industry - University Cooperation Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4230763
Aktenzeichen: EP21880306
Anmeldetag: 31. August 2021
Veröffentlichung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/00C23C14/56H01J37/34C30B25/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Pusan National University Industry - University Cooperation Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Pusan National University Industry-University Cooperation Foundation

Die Pusan National University Industry-University Cooperation Foundation ist die Transfereinrichtung einer südkoreanischen staatlichen Universität. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik sowie Mess-, Halbleiter- und Kunststofftechnik, ergänzt durch organische Chemie. Die Anmeldungen von 2002 bis 2025 betreffen unter anderem Sensoren für Nanokunststoffe und Kristallzuchtverfahren.

293 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von