Element für eine Abscheidungsvorrichtung oder eine Ätzvorrichtung

EP4230764 Art A1 23. August 2023

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4230764
Aktenzeichen: EP21880016
Anmeldetag: 8. Oktober 2021
Veröffentlichung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/42C23C16/32C23C16/44C23C16/455C23C16/458H01L21/3065H01J37/32H01L21/683H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von