Heteroepitaktischer Wafer zur Abscheidung von Galliumnitrid

EP4231335 Art B1 19. Juni 2024

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4231335
Aktenzeichen
EP22156958
Anmeldetag
16. Februar 2022
Veröffentlichung
19. Juni 2024
Erteilung
19. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/322H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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