Lager- und Abgabebehälter vom Adsorptionsmitteltyp mit Hochreiner Gasabgabe und Zugehörige Verfahren

EP4232744 Art A1 30. August 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4232744
Aktenzeichen
EP21883751
Anmeldetag
20. Oktober 2021
Veröffentlichung
30. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
F17C11/00B01J20/20B01J20/22B01J20/16H01L21/67B01J20/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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