Messung der Schmelzbadposition in der Generativen Fertigung

EP4232775 Art A1 30. August 2023

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4232775
Aktenzeichen: EP21807430
Anmeldetag: 21. Oktober 2021
Veröffentlichung: 30. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/02G01B11/06G01K11/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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