Schnellkammer-Vakuumleckprüfhardware und Wartungsroutine

EP4233094 Art A1 30. August 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4233094
Aktenzeichen: EP21883515
Anmeldetag: 28. September 2021
Veröffentlichung: 30. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C16/44C23C16/46G01M3/34G01M3/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von