Aktuator, Bühnenvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Inspektionsvorrichtung

EP4235300 Art A1 30. August 2023

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4235300
Aktenzeichen: EP23156451
Anmeldetag: 14. Februar 2023
Veröffentlichung: 30. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00F16C29/02H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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