Verfahren zur Herstellung eines Trägersubstrats für einen Gebondeten Wafer und Trägersubstrat für einen Gebondeten Wafer

EP4235747 Art A1 30. August 2023

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4235747
Aktenzeichen
EP21885950
Anmeldetag
18. Oktober 2021
Veröffentlichung
30. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/304H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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