Substratverarbeitungsverfahren
EP4235758
Art A3
15. November 2023
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Merck Patent GmbH 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4235758
- Aktenzeichen
- EP23181124
- Anmeldetag
- 27. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 15. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
Merck Patent GmbH - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
854 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Manasse, Uwe
Bremen, Deutschland
241
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte