Türme für Substratträger

EP4235759 Art A3 4. Oktober 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4235759
Aktenzeichen
EP23171032
Anmeldetag
14. Oktober 2014
Veröffentlichung
4. Oktober 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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