Abscheidungsquelle, Abscheidungsvorrichtung zur Abscheidung von Verdampftem Material und Verfahren dafür

EP4237593 Art A1 6. September 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4237593
Aktenzeichen: EP20820783
Anmeldetag: 28. Oktober 2020
Veröffentlichung: 6. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/56H01L51/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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