Verfahren und System zur Vor-Ort-Ablagerungsdiagnose und -Steuerung

EP4238124 Art A1 6. September 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4238124
Aktenzeichen: EP21887143
Anmeldetag: 22. September 2021
Veröffentlichung: 6. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C16/44C23C16/52G06N20/10// B08B13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung Verfahrens- & Trenntechnik

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