Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungsverfahren

EP4238686 Art A1 6. September 2023

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4238686
Aktenzeichen: EP21885840
Anmeldetag: 6. Oktober 2021
Veröffentlichung: 6. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B23K26/067B23K26/364H01L21/301B23K26/38B23K26/06B23K26/0622B23K101/40B23K103/00H01L21/67H01L21/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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