System, Vorrichtung und Verfahren für Elektrode mit Variabler Länge in einem Linearbeschleuniger

EP4241539 Art A1 13. September 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4241539
Aktenzeichen
EP21889791
Anmeldetag
18. September 2021
Veröffentlichung
13. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H05H7/22H05H9/00H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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