Verfahren und Vorrichtung zur Zonensteuerung einer Hf-Vorspannung für Spannungsgleichförmigkeit

EP4244882 Art A1 20. September 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4244882
Aktenzeichen: EP20961242
Anmeldetag: 16. November 2020
Veröffentlichung: 20. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01L21/683H01J37/34C23C14/35C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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