Verbessertes Verfahren zur Messung der Ausrichtung eines Zeilenablenkungsfehlers in Kleinen Winkeln durch T-Saxs-Übertragung ; Entsprechendes Instrumentalsystem und Computerprogrammprodukt

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4246135

Aktenzeichen

EP23162126

Anmeldetag

15. März 2023

Veröffentlichung

11. Dezember 2024

Erteilung

11. Dezember 2024

Rechtsraum

EP

IPC

G01N23/201G03F7/20

Abstract

Ce procédé de mesure T-SAXS d'un écart d'alignement entre deux réseaux de lignes portés par deux niveaux d'un composant microélectronique (C), un repère xyz étant associé au composant, les lignes des deux réseaux étant orientées selon la direction y, les deux réseaux étant superposés selon la direction z, et l'écart d'alignement étant mesuré selon la direction x, se caractérise par les étape de : acquérir une pluralité de mesures d'intensité d'un faisceau de rayons X transmis pour une pluralité d'angles d'incidence du faisceau de rayons X ; reconstruire, à partir de la pluralité de mesures d'intensité, une figure de diffraction ; déterminer, le long d'une tige de Bragg d'intérêt de la figure de diffraction, les positions de chaque point d'une paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d'intérêt ; et, calculer l'écart d'alignement à partir des positions déterminées.

Anmelder

Firmen

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete