Verfahren zur Durchführung von Metrologie an einer Mikrostruktur

EP4246230 Art A1 20. September 2023

Anmelder: Imec VZW, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4246230
Aktenzeichen: EP22162539
Anmeldetag: 16. März 2022
Veröffentlichung: 20. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01B15/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Imec VZW
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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🇧🇪 KU Leuven Research & Development

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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