Filtervorrichtung mit Belüftetem Kern, Abschwächung von Elektrostatischer Entladung oder Beidem

EP4247514 Art A1 27. September 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4247514
Aktenzeichen
EP21895450
Anmeldetag
16. November 2021
Veröffentlichung
27. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
B01D35/30B01D63/06B01D29/11B01D39/14B01D36/00H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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