Mit Rissbeständigen, Fluorgeglühten Filmen Beschichtete Artikel und Herstellungsverfahren dafür

EP4248481 Art A1 27. September 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4248481
Aktenzeichen
EP21895422
Anmeldetag
16. November 2021
Veröffentlichung
27. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/08C23C14/00C23C14/58H01L21/02H01L23/31H01J37/32C23C16/44H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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