Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht

EP4249631 Art A1 27. September 2023

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4249631
Aktenzeichen
EP21894642
Anmeldetag
16. November 2021
Veröffentlichung
27. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40H01L21/31H01L21/316C23C16/455H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADEKA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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