System und Verfahren zur Handhabung von Proben zur Untersuchung in einem Gerät für Geladene Teilchen Wie Z.b. einem Transmissionselektronenmikroskop
EP4250329
Art A1
27. September 2023
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4250329
- Aktenzeichen
- EP22163221
- Anmeldetag
- 21. März 2022
- Veröffentlichung
- 27. September 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/18H01L21/67H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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