Beleuchtungssystem für Ar-Metrologiewerkzeug

EP4251977 Art A1 4. Oktober 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4251977
Aktenzeichen: EP21899034
Anmeldetag: 23. November 2021
Veröffentlichung: 4. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/88G01N21/956G01B11/24G06T7/00G06T19/00G01M11/02G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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