Ätzrückkopplung zur Steuerung eines Aufwärtsprozesses

EP4252275 Art A1 4. Oktober 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4252275
Aktenzeichen: EP21898948
Anmeldetag: 18. November 2021
Veröffentlichung: 4. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67G01B11/06C23C16/52H01J37/32H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von