Verbesserte Plasmaresistente Beschichtungen für Elektrostatische Haltevorrichtungen
EP4256100
Art A1
11. Oktober 2023
Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4256100
- Aktenzeichen
- EP21824529
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/02C23C14/50C23C16/44H01J37/32H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.
287 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Heine-Kempkens, Claus
Maienfeld, Schweiz
11
Patente gesamt
4
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte