Verbesserte Plasmaresistente Beschichtungen für Elektrostatische Haltevorrichtungen
EP4256100
Art A1
11. Oktober 2023
Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4256100
- Aktenzeichen
- EP21824529
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/02C23C14/50C23C16/44H01J37/32H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
Vertreten von
Heine-Kempkens, Claus
Maienfeld, Schweiz
11
Patente gesamt
4
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte