Niedrigprofilsensoranordnung in einer Kammer

EP4256277 Art A1 11. Oktober 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4256277
Aktenzeichen: EP21901285
Anmeldetag: 29. November 2021
Veröffentlichung: 11. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01D21/02G01D11/24G01L19/00G01L19/08G01F15/02G01F15/06H01L21/67G01L21/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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